2015年5月15日，科技部重大专项办公室及电子与信息板块重大专项监督评估组有关专家，与华芯投资管理公司（负责国家集成电路产业投资基金管理和运营）就加快我国集成电路装备及零部件发展进行了专题交流。

集成电路制造业是整个集成电路产业链的核心，而装备则是集成电路制造业的基础，装备的投资占集成电路生产线总投资的70%。在国家科技重大专项的持续支持下，国内集成电路装备企业在核心关键技术突破和产品产业化方面取得了显著成效，为下阶段产业发展奠定了坚实基础。国家集成电路产业投资基金成立以来，在较短时间内对国内主要装备企业进行了深入走访调研。座谈交流中双方一致认为，“十三五”期间要以科技、产业、金融等多种手段深度结合的方式，形成推动集成电路装备发展的合力，进一步推动技术成果的产业化，帮助重点企业做大做强。后续双方将密切互动，共同推动“十三五”我国集成电路装备的快速健康发展。