2016年10月18日，纳米科技重点专项“基于光子束调制的跨尺度微纳结构加工与器件应用研究”项目在北京召开项目启动会暨实施方案论证会。科技部高技术研究与发展中心、中国科学院前沿科学与教育局等部门代表、解思深院士等10余位专家参加了会议。
    科技部高技术中心的代表围绕2016年度纳米科技重点专项的基本情况、重点专项管理、项目承担单位和负责人的职责与要求等做了详细介绍，明确了纳米科技重点专项项目重立项、重过程、重验收的基本原则，并对项目的执行和管理提出了指导性意见和建议。中国科学院理化技术研究所所长代表表示，作为项目牵头单位，研究所将充分落实单位法人责任制，积极支持项目负责人开展工作，协调做好项目的组织实施、经费管理和支撑保障工作，确保项目顺利实施并高质量完成各项任务。
    项目负责人及各课题负责人详细汇报了项目及课题的研究内容、研究方案和研究目标及下一阶段主要工作计划等。与会专家对项目研究内容和目标提出了指导性建议，希望项目承担单位科研人员围绕有限目标，针对光子束跨尺度微纳结构加工技术特点在器件设计方面充分发挥创造力，在研究过程中做出更多原创性成果。
    该项目由中国科学院理化技术研究所联合中国科学院重庆绿色智能技术研究院、中国科学院半导体研究所、北京大学等单位共同承担。针对市场新型微纳器件多样化结构设计与低成本、高效率加工构筑技术的迫切需求, 围绕纳米光刻技术中光学衍射极限重大科学问题与多光源协同跨尺度微纳结构加工关键技术问题，提出了发展基于光子束调制的无掩模跨尺度微纳器件加工新技术，最终目标是将该跨尺度光刻技术与半导体工艺结合，应用于量子效应硅纳米线晶体管、谐振型微光学陀螺仪、自对准围栅纳米线等微纳器件的制备，增强我国在新型纳米加工技术领域国际竞争中的优势地位，提升我国在纳米器件研发领域的自主创新能力。